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半導體超純水設備核心部件精密，對水質與清潔度要求嚴苛，停機后若存放不當，易導致膜元件老化、管路污染或樹脂失效，影響后續產水質量。科學存放需圍繞內部防護、核心部件保養與環境控制展開，保障設備待機狀態穩定。?
首先，徹底清潔并防護內部系統。停機后需排空設備內殘留的超純水，避免長期積水滋生微生物;對反滲透膜、EDI 模塊等核心部件，需用專用保護液浸泡或循環沖洗，防止脫水老化或離子污染，浸泡后密封進出水口，隔絕空氣與雜質;管路系統需用高純氮氣吹掃或潔凈水沖洗，去除殘留污染物，避免內壁結垢或腐蝕。?
其次，精準養護關鍵耗材與部件。拆卸下來的精密濾芯、樹脂等耗材，若未失效需用潔凈密封袋包裝，存放在干燥無塵環境中;已失效的耗材及時更換，避免下次使用時污染系統;金屬接口與閥門需涂抹專用防銹劑，防止氧化銹蝕，同時檢查密封圈是否完好，有破損及時更換，確保密封性能。?
最后，嚴格控制存放環境與定期檢查。將設備置于恒溫(10-30℃)、恒濕(40%-60%)、無塵的潔凈空間，避免陽光直射或靠近腐蝕性物質，防止塑料部件老化或金屬部件腐蝕;每周定期檢查設備狀態，觀察保護液液位與顏色，若出現泄漏或變質及時補充更換，確保設備重啟后能快速恢復穩定運行，滿足半導體生產的高純水需求。?
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